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[发明专利]堆叠式电容器及其制备方法-CN200410090481.6无效
发明人：吴孝哲 -专利权人：茂德科技股份有限公司
申请日： 2004-11-10 - 公布日： 2006-05-17 - 主分类号： H01L27/108 文献下载
摘要：本发明揭示一种具有指叉电极的堆叠式电容器及其制备方法。本发明的堆叠式电容器包含一下指叉电极、一上指叉电极以及一设置于该下指叉电极及该上指叉电极之间的介电材料。该下指叉电极与上指叉电极各包含一体部以及多个电气连接于该体部的指部。该介电材料可为氮化硅或二氧化硅，该下指叉电极与该上指叉电极的指部是由不同导电材料构成。优选地，该下指叉电极的指部可由氮化钛构成，该上指叉电极的指部是由多晶硅构成，且该下指叉电极与上指叉电极的体部是由氮化钛构成。
堆叠电容器及其制备方法

[发明专利]三维立体叉指电极-CN201810307445.2有效
发明人：唐龙华;赵慧;江涛;刘旭 -专利权人：浙江大学
申请日： 2018-04-08 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01N27/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种三维立体叉指电极。包括从下到上依次布置的基底、底层叉指电极、牺牲层和顶层叉指电极；底层叉指电极和顶层叉指电极为位于不同平面的面内叉指电极，牺牲层固定并支撑在底层叉指电极和顶层叉指电极之间，基底为整个三维立体叉指电极的附着层本发明能达到叉指间隔的纳米尺寸，能增强叉指电极的探测灵敏性，有多种电极叉指的组合方式，满足多种应用情况，突破现有叉指电极单一物质检测的限制，对多种物质实现高灵敏度检测，实现多物质并行传感。
三维立体电极

[实用新型]一种新型三维立体叉指电极-CN201820487575.4有效
发明人：唐龙华;赵慧;江涛;刘旭 -专利权人：浙江大学
申请日： 2018-04-08 - 公布日： 2018-11-27 - 主分类号： G01N27/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型三维立体叉指电极。包括从下到上依次布置的基底、底层叉指电极、牺牲层和顶层叉指电极；底层叉指电极和顶层叉指电极为位于不同平面的面内叉指电极，牺牲层固定并支撑在底层叉指电极和顶层叉指电极之间，基底为整个三维立体叉指电极的附着层本实用新型能达到叉指间隔的纳米尺寸，能增强叉指电极的探测灵敏性，有多种电极叉指的组合方式，满足多种应用情况，突破现有叉指电极单一物质检测的限制，对多种物质实现高灵敏度检测，实现多物质并行传感。
叉指电极三维立体顶层本实用新型牺牲层叉指基底单一物质高灵敏度依次布置组合方式电极叉附着层灵敏性平面的检测传感并行探测支撑应用

[发明专利]一种静电驱动结构及其制作方法-CN201510779710.3在审
发明人：熊斌;刘松;徐德辉;马颖蕾 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2015-11-13 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： B81B5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种静电驱动结构，包括固定叉指电极及两端由支撑梁支撑而悬空的可动叉指电极；所述固定叉指电极包括若干呈周期性排列的第一叉指，所述可动叉指电极包括若干与所述第一叉指交错排列的第二叉指；其中所述第一叉指及第二叉指均在所述支撑梁方向上左右对称；所述第二叉指在往所述固定叉指电极方向上宽度逐渐减小；所述第一叉指在往所述可动叉指电极方向上宽度逐渐减小。本发明中，固定叉指电极与可动叉指电极相对运动时受到滑膜阻尼和压膜阻尼的共同作用，电极的驱动力和阻尼力介于平板电极和普通叉指电极之间，既解决了普通叉指电极驱动力过小的问题，又使得阻尼力小于平板电极。
一种静电驱动结构及其制作方法

[发明专利]声表面波谐振器结构及其形成方法、滤波器-CN202211219108.0有效
发明人：请求不公布姓名 -专利权人：深圳新声半导体有限公司
申请日： 2022-10-08 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本公开实施例提供一种声表面波谐振器结构及其形成方法、滤波器，声表面波谐振器结构包括：压电基板；叉指换能器，包括第一叉指电极结构和第二叉指电极结构，其中第一叉指电极结构包括彼此连接的第一叉指电极和第一叉指电极引出部，第二叉指电极结构包括彼此连接的第二叉指电极和第二叉指电极引出部，第一叉指电极和第二叉指电极沿第一方向延伸且在第二方向上交替排列；温度补偿层，设置于叉指换能器的远离压电基板的一侧；以及第一保护层，设置于叉指换能器与温度补偿层之间，保护层被配置成保护叉指换能器不被氧化。
表面波谐振器结构及其形成方法滤波器

[发明专利]叉指电极芯片-CN201911059680.3在审
发明人：李恭新;刘飞;陈珺 -专利权人：江南大学
申请日： 2019-11-01 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： G01N27/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种叉指电极芯片。本发明一种叉指电极芯片，包括：底座、叉指电极块、通道层和盖片层；所述底座上设有叉指电极块放置凹槽，所述叉指电极块与叉指电极块放置凹槽的形状相适配；所述叉指电极块放入所述叉指电极块放置凹槽后，所述叉指电极块的上表面和所述底座的上表面齐平；所述叉指电极块包括基底和设置在所述基底上的叉指电极层；所述叉指电极层包括第一电极和第二电极。
叉指电极放置凹槽底座反应物基底芯片动态变化过程上表面齐平第二电极第一电极反应通道反应状态在线检测盖片层上表面通道层微通道放入适配监控检测流动

[发明专利]一种叉指换能器-CN201910847280.2有效
发明人：张树民;王国浩;汪泉;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2019-09-09 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种叉指换能器，包括：压电基板；设置在压电基板上的第一汇流电极；设置在压电基板上的第二汇流电极，且与所述第一汇流电极相对间隔设置；呈周期设置的多个第一叉指电极，该叉指电极自第一汇流电极向第二汇流电极的方向延伸；呈周期设置的多个第二叉指电极，该叉指电极自第二汇流电极向第一汇流电极的方向延伸；第一叉指电极和第二叉指电极交替间隔设置，并且，在沿其长度方向上，第一叉指电极和第二叉指电极的宽度呈预设变化。本发明提供的叉指换能器通过第一叉指电极和第二叉指电极的宽度呈预设变化，进而改变叉指电极的金属化比值，以调节各部分的SAW速度，达到抑制温度补偿声表面波器件中的横向模式。
一种叉指换能器

[发明专利]叉指电极结构及其制造方法和具有该结构的声表面波器件-CN202010761971.3有效
发明人：李林萍;盛荆浩;江舟 -专利权人：见闻录（浙江）半导体有限公司
申请日： 2020-07-31 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：公开了一种叉指电极结构，叉指电极结构被设置在衬底上，其中叉指电极结构中的叉指电极的末端被离子注入以形成掺杂部。还公开了一种声表面波器件，其包括以上叉指电极结构，声表面波器件为滤波器或谐振器。另外，还公开了一种用于制造叉指电极结构的方法，包括制备具有压电层的衬底；在衬底上制作叉指电极；以及对叉指电极进行离子注入以在叉指电极的末端形成掺杂部。通过在叉指电极末端进行离子注入形成掺杂部，在不变剂加权、不调整叉指电极厚度等前提下改善了电极末端的电场梯度变化，抑制寄生振荡，最终提升声表面波器件的性能。
电极结构及其制造方法具有表面波器件

[发明专利]光电探测器及其制备方法-CN201710295428.7有效
发明人：魏浩明;魏洋;姜开利;范守善 -专利权人：清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明提供一种光电探测器，包括一基底，一叉指电极层和一光活性层。所述基底，所述叉指电极层和所述光活性层依次层叠接触设置。所述叉指电极层包括第一叉指电极和第二叉指电极，该第一叉指电极和第二叉指电极相互交错设置。
光电探测器及其制备方法

[发明专利]LOVE波型超微量物质质量的测量装置-CN201210222513.8有效
发明人：文常保;丁娜;巨永锋;许宏科;李演明;温立民 -专利权人：长安大学
申请日： 2012-06-29 - 公布日： 2012-10-24 - 主分类号： G01G9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种LOVE波型微量物质质量的测量装置，包括在同一压电基片材料上制作的一个输入叉指换能器、两个相同的输出叉指换能器、输入叉指换能器的第一电极、输入叉指换能器的第二电极、输出叉指换能器的第一电极、输出叉指换能器的第二电极，以及覆盖在输入叉指换能器、输出叉指换能器和压电基片上的LOVE波波导层；输入叉指换能器的第一电极、输入叉指换能器的第二电极、输出叉指换能器的第一电极和输出叉指换能器的第二电极的末端均从LOVE波波导层中伸出；两个输出叉指换能器分别对称设置在输入叉指换能器的左、右两侧，输入叉指换能器与输出叉指换能器之间的区域为测量区域。
love 波型超微量物质质量测量装置

[发明专利]一种用于射频前端半导体封装体-CN202310591585.8有效
发明人：苗湘;张雅;闫坤坤;黄歆 -专利权人：北京中科飞鸿科技股份有限公司
申请日： 2023-05-24 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H10N30/87 文献下载
摘要：本发明的用于射频前端半导体封装体，包括：衬底；叉指电极，位于所述衬底表面；所述叉指电极包括反射栅叉指电极和换能器叉指电极，所述反射栅叉指电极的两侧分别设有所述反射栅叉指电极，所述反射栅叉指电极的周期不小于所述换能器叉指电极的周期，且所述换能器叉指电极包括至少两个不同周期的区域。
一种用于射频前端半导体封装

[发明专利]具有叉指型电极的半导体器件-CN201710975501.5有效
发明人：李湛明;傅玥;吴卫东;刘雁飞 -专利权人：苏州量芯微半导体有限公司
申请日： 2017-10-16 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： H01L29/41 文献下载
摘要：公开了具有叉指型电极的半导体器件，该半导体器件包括漏级、源极以及多个叉指型电极，多个叉指型电极中的每一个叉指型电极具有分别连接到漏级基底和源极基底的两个交叉的叉指，多个叉指型电极中的任意两个叉指型电极之间具有至少一个半导体导电区域，其中，叉指型是非对称形状并且叉指型的指尖是非直线形状。采用本发明的叉指电极能够使得电流或功率在整个芯片表面均匀分布，并且本发明的叉指电极具有宽度可变的电极基底，从而实现了有效控制金属上的流量分布并能够很好的控制芯片规模。
具有叉指型电极半导体器件

[发明专利]一种声表面波谐振器-CN202211034736.1在审
发明人：欧欣;孙米静;张师斌;郑鹏程;隋东辰 -专利权人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种声表面波谐振器，包括：由下至上层叠设置的支撑衬底、压电薄膜和电极结构；电极结构的两侧分别设置有一个反射栅阵列；电极结构包括输入区叉指电极阵列、切换区叉指电极阵列和输出区叉指电极阵列；输入区叉指电极阵列、切换区叉指电极阵列和输出区叉指电极阵列并列且串联连接；输入区叉指电极阵列的输入端为声表面波谐振器的输入端，输入区叉指电极阵列的输出端与切换区叉指电极阵列的输入端连接；切换区叉指电极阵列的输出端与输出区叉指电极阵列的输入端连接，输出区叉指电极阵列的输出端为声表面波谐振器的输出端。
一种表面波谐振器

[发明专利]一种全方位宽频带柔性介电弹性叉指换能器及制作方法-CN201910048342.3在审
发明人：王自平;骆英;徐晨光;袁福国;许伯强;蒋政轩 -专利权人：江苏大学
申请日： 2019-01-18 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种全方位宽频带柔性介电弹性叉指换能器及制作方法，包括柔性DE基底，为圆盘状；柔顺环形叉指电极，设置于柔性DE基底的表面，柔顺环形叉指电极包括：正极叉指电极和负极叉指电极，正极叉指电极与负极叉指电极呈相互嵌套的环形叉指状，从柔顺环形叉指电极的圆心沿着径向向外，柔顺环形叉指电极中每相邻两个电极之间的间距逐渐增大，本发明可实现被测构件中超声波信号的全方位驱动与传感；通过改变电极间距的变化可实现IDT宽频带的特性，使得频带宽具有可设计性
电极环形叉柔顺叉指电极宽频带正极负极柔性介电弹性叉换能器基底超声波信号全方位驱动工程结构径向向外可设计性模态选择损伤检测有效信号逐渐增大圆心嵌套的识别率圆盘状传感导波指状制作

[实用新型]一种全方位宽频带柔性介电弹性叉指换能器-CN201920085890.9有效
发明人：王自平;蒋政轩;鲍朱杰;殷贺;李业飞;叶阳春 -专利权人：江苏大学
申请日： 2019-01-18 - 公布日： 2019-09-13 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种全方位宽频带柔性介电弹性叉指换能器，包括柔性DE基底，为圆盘状；柔顺环形叉指电极，设置于柔性DE基底的表面，柔顺环形叉指电极包括：正极叉指电极和负极叉指电极，正极叉指电极与负极叉指电极呈相互嵌套的环形叉指状，从柔顺环形叉指电极的圆心沿着径向向外，柔顺环形叉指电极中每相邻两个电极之间的间距逐渐增大，本实用新型可实现被测构件中超声波信号的全方位驱动与传感；通过改变电极间距的变化可实现IDT宽频带的特性，使得频带宽具有可设计性
电极环形叉柔顺叉指电极宽频带正极本实用新型负极柔性介电弹性叉换能器基底超声波信号全方位驱动工程结构径向向外可设计性模态选择损伤检测有效信号逐渐增大圆心嵌套的识别率圆盘状传感导波指状

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